원하는 구조로,
약속한 날짜에,
검증된 품질로.

나노임프린트 기반 마이크로·나노 구조 맞춤 제작. 유중나노는 설계 협의부터 가공, 검사, 출하까지 한 팹에서 책임집니다.

맞춤 제작 Custom

고객 지정 공정

포토마스크 설계부터 마스터·소프트 몰드, 표면 처리, 본딩까지 고객이 지정한 공정과 사양으로 제작합니다.

4 / 6 / 8인치 웨이퍼, 시제품부터 양산까지

납기 Lead time

5일 / 3주

표준품은 5일, 맞춤 제작은 3주 안에 출하합니다. 사양 검토 결과는 1–2일 안에 회신합니다.

본사 출하 기준, 한국까지 운송 기간 별도

품질 Quality

±30 nm

설계, 가공, 검사, 출하를 한 팹에서 관리합니다. SEM과 공초점 현미경으로 치수를 측정하며, 요청 시 측정 이미지와 수치를 제공합니다.

가공 정밀도, NGS 기판 기준

About Us

반도체 공정으로 만드는
마이크로·나노 구조

유중나노(yz-micro nano)는 나노임프린트(NIL) 기술을 기반으로 마이크로·나노 구조 소자를 제조하는 반도체 공정 기반 기업입니다. 2015년 설립 이후 중국 장쑤성 난퉁시와 저장성 저우산시에 약 20,000㎡ 규모의 반도체 표준 팹(Fab)을 구축했으며, 세정, 노광, 나노임프린트, 박막 증착, CMP, 식각, 검사·계측까지 전 공정을 자체 라인에서 수행합니다. 누적 설비 투자는 약 5억 위안(약 1,000억 원)입니다.

나노임프린트 전문 인력과 중국 내 여러 대학과의 산학연 협력을 바탕으로, 바이오 분석·진단용 칩부터 광학 소자까지 설계 협의, 시제품, 양산을 지원합니다.

유중나노 장쑤성 난퉁 본사 로비
장쑤성 난퉁 본사
설립
2015년
생산 거점
난퉁(장쑤성), 저우산(저장성)
팹 규모
약 20,000㎡, 반도체 표준 팹
웨이퍼
4 / 6 / 8인치
누적 설비 투자
약 5억 위안(약 1,000억 원)
자체 공정
세정, 노광, 나노임프린트, 박막 증착, CMP, 식각, 검사·계측
  • 바이오·생명과학

    유전체 분석, 진단, 세포 연구에 필요한 정밀 칩과 기판을 고객 사양에 맞춰 제작합니다. 차세대 염기서열 분석(NGS), 체외진단, 세포·분자 분석, 장기칩 등 생체모사 모델 연구에 적용됩니다.

  • 광학·포토닉스

    마이크로렌즈 어레이(MLA), 메타렌즈, 와이어 그리드 편광자(WGP), 회절광학소자(DOE), 디퓨저, 그레이팅, V-groove. 광통신과 소비자 가전(IT 기기) 분야에 적용됩니다.

  • 맞춤 제작 서비스

    마스터 몰드·소프트 몰드 제작부터 시제품, 양산까지 고객 지정 공정으로 대응합니다.

Products

주력 제품

NGS 플로우셀용 기판과 미세유체 칩

NGS 나노웰 기판

NGS 나노웰 기판

NGS Nanowell Substrate

나노임프린트 공정으로 특수 광학 유리 기판 위에 정밀한 나노웰 어레이를 구현합니다. 규칙적으로 배열된 웰마다 DNA 단편이 고정되어 수백만 개의 클러스터로 증폭되며, 인접 웰 간 신호 크로스토크를 억제해 시퀀싱 정확도를 크게 높입니다. 2세대 NGS 패턴드 플로우셀의 핵심 부품입니다.

웨이퍼
8 / 6 / 4인치
홀 직경
100 nm 이상
종횡비
5 : 1
기판
특수 광학 유리

기판 공급을 기본으로, 친수·소수 표면 처리와 본딩은 고객 지정 공정으로 대응합니다.

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NGS 미세유체 칩 제품 미세 구조 단면 SEM 이미지 단면 SEM

NGS 미세유체 칩

Microfluidic Chip

미세 채널로 극미량의 유체를 처리하고 제어하는 미세유체(Microfluidics) 칩입니다. 소형화와 집적화에 유리해 유기 합성, 마이크로 리액터, 화학 분석, 임상 진단 기기, 장기칩(Organ-on-a-Chip) 등 체외 생체모사 모델에 폭넓게 쓰입니다. 나노임프린트 공정으로 나노 챔버와 마이크로 채널을 제작합니다.

나노 챔버 깊이
100 nm
채널 깊이
20 μm
공정
나노임프린트
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광학 소자와 맞춤 제작

제품명을 누르면 상세 사양이 열립니다.

광학 소자

Customizing 맞춤 제작 서비스

바이오 분야 제품은 연구용(RUO)으로 공급되며, 임상 진단 목적 사용에는 별도 인허가가 필요합니다.

Custom Process

주문 후 출하까지,
표준품 5일, 맞춤 제작 3주

  1. 1

    문의

    구조, 기판 재질, 수량, 희망 납기를 알려 주세요.

  2. 2

    사양 검토

    가공 가능 여부와 일정을 회신합니다.

    1–2일
  3. 3

    설계

    포토마스크와 마스터 몰드를 설계합니다.

  4. 4

    가공

    나노임프린트, 식각, 박막 증착, 표면 처리를 진행합니다.

  5. 5

    검사·출하

    SEM 등으로 치수를 확인한 뒤 출하합니다.

    표준품 5일 / 맞춤 3주

납기는 본사 출하 기준이며, 한국까지의 운송 기간은 별도입니다.

Production & R&D

Contact

구조와 사양을 알려 주시면 1–2일 안에 검토 결과를 회신드립니다.

회사
유중코리아
Youzhong Korea
팩스
0508-934-9808
주소
경기도 시흥시 배곧동 294-1
골드테크노밸리 406호
네이버 지도에서 보기

버튼을 누르면 사용 중인 메일 프로그램이 열리고, 입력한 내용이 sales@yz-micronano.co.kr 앞으로 작성됩니다.

마이크로렌즈 어레이

마이크로렌즈 어레이

Microlens Array (MLA)

굴절형과 회절형으로 나뉩니다. 회절형 마이크로렌즈 어레이는 파장 수준의 3차원 릴리프 구조로 광파를 변조·변환하며, 얇고 가벼우면서 설계 자유도가 높습니다. 파면 센싱, 집광, 빔 셰이핑 등 다양한 광학 시스템의 기능 소자로 쓰입니다.

웨이퍼
8 / 6 / 4인치
종횡비(AR)
0.08 – 0.2
사양
고객 요구에 맞춰 설계
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메타렌즈 필러 구조 SEM 이미지

메타렌즈

Metalens (Metasurface Lens)

메타표면(Metasurface) 기반의 평면 렌즈입니다. 표면 나노 구조의 형상, 회전 방향, 높이를 정밀하게 설계해 빛의 위상, 진폭, 편광을 제어하고 목적한 결상 및 광학 효과를 구현합니다. 고객 요구에 맞춘 광학 설계와 시뮬레이션 기반 특성 평가를 거쳐 전용 메타렌즈를 제작합니다.

웨이퍼
8 / 6 / 4인치
필러·홀 구조
300 nm – 3 μm 수준
설계 지원
광학 설계, 시뮬레이션
사양
고객 요구에 맞춰 설계
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특수 마이크로·나노 구조 SEM 이미지

특수 마이크로·나노 구조 맞춤 제작

Special Micro/Nano Structure Customizing

고객이 요구하는 특수 구조를 포토마스크 설계와 제작부터 가공까지 지원합니다.

  • 포토마스크 설계·제작
  • 마이크로·나노 패턴드 기판
  • 서브파장 구조
  • 바이너리 광학 소자
  • 메타렌즈 구조
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소프트 몰드로 복제한 미세유체 칩과 미세 구조

소프트 몰드 복제

Soft Mold Replication

마스터 몰드를 복제해 소프트 몰드와 임프린트용 몰드를 제작합니다.

  • PDMS 소프트 몰드 복제
  • 나노임프린트 몰드
  • UV 나노임프린트
  • 열 임프린트(Thermal NIL)
  • 마이크로 컨택 프린팅(µCP) 몰드
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박막 증착 처리한 광학 소자

박막 증착

Thin Film Deposition

금속, 산화물, 질화물, 유전체 막을 요구 사양에 맞춰 증착합니다.

  • 마그네트론 스퍼터링: 금속, 산화물, 질화물
  • 전자빔 증착: 고순도 금속, 유전체 막
  • 원자층 증착(ALD): 고정밀 초박막, 컨포멀 막
  • 열 증착
  • 이온빔 스퍼터링
  • 다중 타깃 코스퍼터링
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표면 처리 전후의 물방울 접촉 비교

점착 방지(이형) 처리

Anti-Sticking Treatment

표면 화학 개질 또는 물리적 개질로 미세 구조 표면에 점착과 고착을 방지하는 기능층을 형성합니다.

  • 표면 화학 개질
  • 물리적 개질
  • 점착 방지 기능층 형성
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